하모닉 드라이브 감속기, RV 감속기 기어박스, 및 정밀 유성 감속기는 웨이퍼 핸들링 시스템이 더 높은 수준의 자동화를 달성하도록 지원합니다

기술의 지속적인 발전에 따라, 웨이퍼 핸들링 로봇은 반도체 제조 산업의 요구와 과제를 충족하기 위해 점차 더 높은 수준의 자동화를 실현하고 있습니다.

● 하모닉 드라이브 감속기는 제로 백래시, 초고정밀(arc-second level), 경량 특성으로 인해 웨이퍼 핸들링 암 (Wafer Handler), 리소그래피 장비 (Lithography), 클린룸 호환 장비와 같은 설비에 일반적으로 사용됩니다.

● RV 감속기 기어박스는 높은 강성, 높은 토크, 긴 수명으로 인해 하중 이송용 로봇 암의 베이스에 자주 적용됩니다.

● 정밀 유성감속기는 높은 토크 밀도와 컴팩트한 구조를 갖추고 있어 웨이퍼 컨베이어 벨트, 인덱싱 로터리 테이블, 웨이퍼 프리얼라이너와 같은 장치에 널리 사용됩니다.

다이렉트 드라이브를 사용하는 SCARA 웨이퍼 핸들링 로봇

SCARA형 로봇은 위치 피드백을 위해 고정밀 각도 센서를 사용하여, 로봇의 동작 조정과 회전 각도 보정을 가능하게 함으로써 엔드 이펙터가 원하는 어느 방향이든 가리키도록 보장합니다.

SCARA 로봇 암의 J3 및 J4 관절(전완 및 손목 관절)에서 하모닉 드라이브 감속기는 대체할 수 없는 역할을 합니다. 하모닉 드라이브의 탄성 플렉스스플라인 변형 원리는 기계적 백래시를 완전히 제거하며, 이는 웨이퍼 배치 정밀도를 보장하고 엔드 이펙터 관성을 줄이는 데 매우 중요합니다.

밀폐형 RV 감속기 기어박스는 진공 웨이퍼 핸들링 로봇 암을 지원합니다

높은 강성과 긴 수명으로 인해, RV 감속기 기어박스는 웨이퍼 핸들링 로봇 암에 일반적으로 사용되는 구성 요소입니다. 진공 웨이퍼 핸들링 장비는 청정도와 안정성에 대해 더 높은 요구사항을 부과합니다.

HONPINE은 내장형 모터를 통합할 수 있는 맞춤형 밀폐형 RV 감속기 기어박스를 제공합니다. 밀폐형 설계는 RV 감속기 기어박스를 더 쉽게 설치하고 사용할 수 있게 하여, 웨이퍼 핸들링 시스템의 설치 시간을 줄이고 설계 안전성을 향상시킵니다.

정밀 유성감속기는 효율적인 전달과 다양한 옵션을 제공합니다

정밀 유성감속기의 다단 기어 배열은 에너지 손실을 최소화하여 90% 이상의 전달 효율을 달성합니다. 이러한 고효율 에너지 변환 특성은 에너지 소비를 줄이는 데 도움이 되며, 기업에 경제적 이익을 제공합니다.

웨이퍼 핸들링 시스템에는 수많은 장비가 필요하며, 단일 프로젝트에도 종종 수십억 규모의 투자가 수반됩니다. 초기 투자 비용과 장기 운영 비용을 어떻게 효과적으로 절감할 것인지는 제조업체의 핵심 고려사항입니다.

또한, 정밀 유성감속기의 다양한 선택지는 기업에 자사의 요구에 더 잘 부합하는 제품을 제공합니다. 웨이퍼 핸들링 시스템의 설계에 따라, 서로 다른 속도 및 토크 요구사항에 맞추기 위해 단단, 이단 또는 다단 감속 구성을 선택할 수 있습니다.

로봇 구조는 다양한 형태를 가집니다. 반복적이고 고정된 궤적을 가진 로봇의 경우, 실제 조건에 따라 적절한 구조와 자유도를 선택해야 합니다.

로봇 암의 대표적인 회전 솔루션은 다음과 같습니다:

대형 암 회전: AC 서보 모터 → 하모닉 드라이브 감속기/RV 감속기 기어박스/정밀 유성감속기 → 베어링 연결 → 대형 암

소형 암 회전: AC 서보 모터 → 하모닉 드라이브 감속기/RV 감속기 기어박스 → 베어링 연결 → 소형 암

웨이퍼 핸들링 시스템용 감속기를 선택할 때는 정밀도, 청정도, 속도, 하중과 같은 요소를 종합적으로 고려해야 합니다.

HONPINE에 문의하여 당사의 기술 전문가와 함께 웨이퍼 핸들링 시스템의 정밀 전달 과제를 해결하고 가장 적합한 감속기 솔루션을 받아보십시오.